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发明名称 Vorrichtung zum Halten von flachen, kreisscheibenförmigen Substraten in der Vakuumkammer einer Beschichtungs- oder Ätzanlage
摘要
申请公布号 DE4305749(A1) 申请公布日期 1994.09.01
申请号 DE19934305749 申请日期 1993.02.25
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 MAHLER, PETER, DIPL.-ING., 6452 HAINBURG, DE
分类号 C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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