| 发明名称 |
Mask, assembly and method for facilitating equipment quality control for semiconductor wafer production |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL102120(A) |
申请公布日期 |
1994.08.26 |
| 申请号 |
IL19920102120 |
申请日期 |
1992.06.05 |
| 申请人 |
PERSYS TECHNOLOGY LTD. |
发明人 |
DRIMER GIDEON;GLAZER ARIE |
| 分类号 |
C23C14/04;G03F1/16;H01L21/66;H01L23/544;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/441 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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