| 摘要 |
Ensemble (N, M) de photodétecteurs pyroélectriques à film mince fabriqué comme une tranche Si. Un film mince (40) de PbTiO3 est déposé sur un pont (45) isolé thermiquement. Ledit pont (45) suspend le capteur PbTiO3 (40) au-dessus d'une cavité (70) obtenue de préférence par attaque de la tranche Si (10). L'isolation thermique améliorée augmente la sensibilité du capteur (33) à la radiation incidente. Le détecteur pyroélectrique (33) ainsi formé peut fonctionner efficacement à température ambiante. |
