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发明名称
Film forming process
摘要
申请公布号
GB9413191(D0)
申请公布日期
1994.08.24
申请号
GB19940013191
申请日期
1994.06.30
申请人
TOKYO ELECTRON KABUSHIKI KAISHA AND TOKYO ELECTRON TOHOKU KABUSHIKI KAISHA
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
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