发明名称 WET ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06236869(A) 申请公布日期 1994.08.23
申请号 JP19930008739 申请日期 1993.01.22
申请人 NEC CORP 发明人 SHIMONO TSUGIO
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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