发明名称 METHOD FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH06234591(A) 申请公布日期 1994.08.23
申请号 JP19930024446 申请日期 1993.02.12
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 KASHIWABARA YOSHIYUKI;MATOBA YOSHIYUKI;YAMAMOTO TOSHIYUKI
分类号 C30B15/00;C30B15/22;H01L21/205;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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