| 摘要 |
Bei einer Vorrichtung zum Ein- und/oder Ausschleusen einer Maske für ein vorzugweise kreisringscheibenförmiges flaches Substrat (20) in die oder aus der Kammer (3,4,) einer Vakuum-Beschichtungsanlage, mit in einer ersten Ausschleuskammer (42) verschiebbar gelagerten bis in die Ebene des Substrats (20) bewegbarer Stößel (14) zur Halterung und zum Transport der mit einer Aufnahmebohrung (32) versehenen Maske (15, 15'...), ist der Stößel (14) quer zur Ebene des Substrats (20) angeordnet und wirkt mit einem quer zur Längsrichtung des Stößels (14) bewegbaren Schieber (41) zusammen, dessen Kopfteil (43) gabelförmig ausgeformt ist und auf den krempenförmigen Rand (47) der Maske (15,15'...) aufschiebbar ist, wozu der Schieber (41) von seiner Ausgangsposition in einer zweiten Ausschleuskammer (39) in einer Vorschubbewegung bis an den Bewegungspfad des Stößels (14) heranführbar und in einer Rückhubbewegung in die zweite Ausschleuskammer (39) transportierbar ist, aus der die Maske anschließend mittels eines weiteren Stößels (48) heraustransportierbar ist. <IMAGE>
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