| 发明名称 |
CATHODE TARGET OF MATERIAL COATING DEVICE ARRANGED IN WORKING CHAMBER CAPABLE OF BEING FILLED WITH PROCESS GAS AND EVACUATED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06220626(A) |
申请公布日期 |
1994.08.09 |
| 申请号 |
JP19930313184 |
申请日期 |
1993.12.14 |
| 申请人 |
LEYBOLD AG |
发明人 |
YOAHIMU SUTSUIRUBOFUSUKII |
| 分类号 |
C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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