发明名称 |
VACUUM FILM FORMING DEVICE AND SURFACE TREATMENT OF ITS COMPONENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06220618(A) |
申请公布日期 |
1994.08.09 |
申请号 |
JP19930021813 |
申请日期 |
1993.01.14 |
申请人 |
VACUUM METALLURGICAL CO LTD |
发明人 |
SUZUKI KAZUTAKA;NAGASE MICHIO |
分类号 |
C23C4/18;C23C14/24;C23F1/44;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C4/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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