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发明名称 CONTROLLING METHOD FOR TEMPERATURE OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06215994(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930005876 申请日期 1993.01.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIMA YUKIO
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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