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发明名称
PROCESS OF MANUFACTURE OF DIELECTRIC LAYER ON SUBSTRATE OF INDIUM PHOSPHIDE
摘要
申请公布号
RU2017269(C1)
申请公布日期
1994.07.30
申请号
SU19915012485
申请日期
1991.07.08
申请人
MITTOVA IRINA YAKOVLEVNA;PUKHOVA VIKTORIYA VLADIMIROVNA;SOSHNIKOV IGOR MIKHAJLOVICH;BEZRYADIN MIKHAIL NIKOLAEVICH
发明人
MITTOVA IRINA YA;PUKHOVA VIKTORIYA V;SOSHNIKOV IGOR M;BEZRYADIN MIKHAIL N
分类号
H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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