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发明名称 Laite sula-aineksen jatkuvaksi syöttämiseksi
摘要
申请公布号 FI92412(B) 申请公布日期 1994.07.29
申请号 FI19880004962 申请日期 1988.10.27
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DRECHSEL, DIETER;JERICHO, KARL
分类号 B01J3/02;C30B15/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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