发明名称 Verfahren zum Aufdampfen von Metallen oder Halbleitern im Vakuum
摘要
申请公布号 DE912518(C) 申请公布日期 1954.05.31
申请号 DE1952S028220 申请日期 1952.04.22
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ZENNECK DR.-ING. HANS
分类号 C03C17/09;C23C14/24;H01B1/00;H01L21/10 主分类号 C03C17/09
代理机构 代理人
主权项
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