发明名称 DICING TAPE FOR SEMICONDUCTOR WAFER AND SEPARATING METHOD FOR CHIP
摘要
申请公布号 JPH06209042(A) 申请公布日期 1994.07.26
申请号 JP19930003036 申请日期 1993.01.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 GOTO KEI
分类号 H01L21/301;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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