| 发明名称 |
CLEANING METHOD FOR INSIDE WALL OF REACTION TUBE OF DRY ETCHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06204189(A) |
申请公布日期 |
1994.07.22 |
| 申请号 |
JP19930000921 |
申请日期 |
1993.01.07 |
| 申请人 |
HIROSHIMA NIPPON DENKI KK |
发明人 |
MURAMOTO TAKAYUKI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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