发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06204170(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19930001078 申请日期 1993.01.07
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 ISHIKAWA TERUHISA
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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