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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06186302(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920355627 申请日期 1992.12.18
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KOBAYASHI TETSUO
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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