| 发明名称 |
LAMP ANNEALING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06188213(A) |
申请公布日期 |
1994.07.08 |
| 申请号 |
JP19920338194 |
申请日期 |
1992.12.18 |
| 申请人 |
NEC KANSAI LTD |
发明人 |
HAYASHI SEIICHI;IKEGAMI GORO |
| 分类号 |
H01L21/26;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/26 |
主分类号 |
H01L21/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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