发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE
摘要
申请公布号 JPH06188180(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920336454 申请日期 1992.12.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIBATA MARI;TAKAHASHI YASUSHI
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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