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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06188244(A)
申请公布日期
1994.07.08
申请号
JP19920338328
申请日期
1992.12.18
申请人
HITACHI LTD
发明人
SATO KAZUO
分类号
H01L21/316;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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