发明名称 ORIGINAL PLATE TRANSPORTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06171799(A) 申请公布日期 1994.06.21
申请号 JP19920351488 申请日期 1992.12.09
申请人 CANON INC 发明人 NAKAMURA HAJIME;YAMATSU YASUYOSHI
分类号 B65G49/07;B65H1/00;B65H7/14;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/677;(IPC1-7):B65H7/14;H01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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