发明名称 |
ORIGINAL PLATE TRANSPORTING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06171799(A) |
申请公布日期 |
1994.06.21 |
申请号 |
JP19920351488 |
申请日期 |
1992.12.09 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
NAKAMURA HAJIME;YAMATSU YASUYOSHI |
分类号 |
B65G49/07;B65H1/00;B65H7/14;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/677;(IPC1-7):B65H7/14;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/07 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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