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发明名称 FINE AREA CROSS SECTION SAMPLE MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06167430(A) 申请公布日期 1994.06.14
申请号 JP19920339549 申请日期 1992.11.27
申请人 SONY CORP 发明人 ITO TAKUYA;WAKAO NORIKO
分类号 G01N1/06;G01N1/28;(IPC1-7):G01N1/06 主分类号 G01N1/06
代理机构 代理人
主权项
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