| 发明名称 |
INTERNAL SAW SLICING MACHINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06166021(A) |
申请公布日期 |
1994.06.14 |
| 申请号 |
JP19920319052 |
申请日期 |
1992.11.27 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
TERAJIMA SEIICHI;KITA MASAO |
| 分类号 |
H01L21/304;B23D59/00;B23D59/02;B28D1/22;B28D5/00;B28D5/02;C30B33/00;(IPC1-7):B28D5/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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