发明名称 VAPOR DEPOSITION DEVICE USING CONVERGENT ION BEAM
摘要
申请公布号 JPH06158292(A) 申请公布日期 1994.06.07
申请号 JP19920319921 申请日期 1992.11.30
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 NAGAMACHI SHINJI
分类号 C23C14/32;C23C14/54;C23C16/48;H01J37/317;H01L21/203;H01L21/265;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
地址