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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06151418(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920299750 申请日期 1992.11.10
申请人 ROHM CO LTD 发明人 NAKAMURA TOMOHITO
分类号 H01L21/316;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/76;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/320 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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