发明名称 MANUFACTURE OF ELECTRODE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT USING THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06151353(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920317709 申请日期 1992.11.02
申请人 RICOH CO LTD 发明人 ISHIDA MAMORU
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L29/62 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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