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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH06151833(A)
申请公布日期
1994.05.31
申请号
JP19920305289
申请日期
1992.11.16
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KUNIKIYO TATSUYA
分类号
H01L21/318;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/784
主分类号
H01L21/318
代理机构
代理人
主权项
地址
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