发明名称 CLASSIFICATION OF TESTED IC ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH06148273(A) 申请公布日期 1994.05.27
申请号 JP19920294967 申请日期 1992.11.04
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 SAKAUCHI KUNIAKI;BABA MINORU
分类号 G01R31/26;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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