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发明名称 GROOVE PROCESSING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06143108(A) 申请公布日期 1994.05.24
申请号 JP19920316617 申请日期 1992.10.30
申请人 NEC CORP 发明人 WADA SHIGENOBU
分类号 H01L21/304;B24B1/04;B24B19/02;(IPC1-7):B24B1/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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