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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06124925(A) 申请公布日期 1994.05.06
申请号 JP19920276098 申请日期 1992.10.14
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MINAMIMOMOSE ISAMU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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