| 发明名称 |
MATERIAU EN FEUILLE COMPOSITE DE POLISSAGE POUR PROCESSUS DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2679067(B1) |
申请公布日期 |
1994.04.29 |
| 申请号 |
FR19920008358 |
申请日期 |
1992.07.07 |
| 申请人 |
INTEL CORP |
发明人 |
BREIVOGEL JOSEPH R.;LOUKE SAM F.;OLIVER MICHAEL R.;YAU LEO D. |
| 分类号 |
B24B37/22;B24B37/26;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/463 |
主分类号 |
B24B37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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