| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON NITRIDE INSULATING FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06120157(A) |
申请公布日期 |
1994.04.28 |
| 申请号 |
JP19920292031 |
申请日期 |
1992.10.06 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
ARAKI SHINICHI;UEKI YOSHIO |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/283;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
