MIKROSTRUKTUREN AUS POLYSILICIUM MIT NIEDRIGER SPANNUNG.,申请号DE19896014162-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MIKROSTRUKTUREN AUS POLYSILICIUM MIT NIEDRIGER SPANNUNG.
摘要
申请公布号	DE68914162(D1)	申请公布日期	1994.04.28
申请号	DE19896014162	申请日期	1989.09.18
申请人	SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE	发明人	WILCOXEN, DUANE, T., GARLAND, TEXAS 75043, US
分类号	H01L29/84;G01F1/684;G01L9/00;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/31	主分类号	H01L29/84
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