| 发明名称 |
Compound semiconductor material control |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3065113(A) |
申请公布日期 |
1962.11.20 |
| 申请号 |
US19590823950 |
申请日期 |
1959.06.30 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
LYONS VINCENT J. |
| 分类号 |
C30B19/04;C30B19/10;C30B25/02;C30B25/18;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/363;H01L29/00 |
主分类号 |
C30B19/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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