| 发明名称 |
PRODUCTION OF PROBE FOR SPM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06114481(A) |
申请公布日期 |
1994.04.26 |
| 申请号 |
JP19920268758 |
申请日期 |
1992.10.07 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP |
发明人 |
OGISO YOSHIAKI;UMEHARA YASUTOSHI |
| 分类号 |
B21G1/00;G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/24;G01Q70/16;H01J9/14;H01J37/28;(IPC1-7):B21G1/00 |
主分类号 |
B21G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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