发明名称 ELECTRODE CONTACT STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06112156(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920261051 申请日期 1992.09.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HARA SHIGE;OBA TAKAYUKI;SUZUKI HISAYA;MISAWA NOBUHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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