| 发明名称 |
THIN FILM PRODUCING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06108250(A) |
申请公布日期 |
1994.04.19 |
| 申请号 |
JP19920256176 |
申请日期 |
1992.09.25 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
HIYOSHI TAKAYUKI;FUJISAWA IKUO;SAKAMOTO KOICHIRO |
| 分类号 |
B01J19/00;C23C14/24;C23C14/54;C30B23/02;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/54 |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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