| 发明名称 |
VERY HIGH PURITY FLUID SUPPLY PIPING SYSTEM AND ITS EXECUTING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06109200(A) |
申请公布日期 |
1994.04.19 |
| 申请号 |
JP19910331351 |
申请日期 |
1991.11.20 |
| 申请人 |
OMI TADAHIRO |
发明人 |
OMI TADAHIRO;NAKAMURA MASAKAZU |
| 分类号 |
F17D1/04;B23K9/028;B23K9/16;B23K9/29;B23K9/32;B23K37/08;H01L21/205;(IPC1-7):F17D1/04 |
主分类号 |
F17D1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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