发明名称 PROCEDE CONTINU DE PREPARATION DE NITRURE DE SILICIUM PAR CARBONITRURATION ET NITRURE DE SILICIUM AINSI OBTENU.
摘要
申请公布号 FR2687393(B1) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 FR19920001806 申请日期 1992.02.18
申请人 ELF ATOCHEM SA 发明人 BACHELARD ROLAND;DISSON JEAN-PIERRE;MORLHON BRUNO
分类号 C01B21/068;C04B35/626;(IPC1-7):C01B21/068;C04B35/58 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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