发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06104278(A) 申请公布日期 1994.04.15
申请号 JP19920240369 申请日期 1992.09.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISHIZUKA NORIO;SAITO NAOTO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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