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发明名称 FABRICATION OF PROBE FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH06102006(A) 申请公布日期 1994.04.12
申请号 JP19920249135 申请日期 1992.09.18
申请人 NIKON CORP 发明人 SUZUKI YOSHIHIKO
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01Q60/38;H01J9/14;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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