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经营范围
发明名称
SHEET ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0696707(A)
申请公布日期
1994.04.08
申请号
JP19920270945
申请日期
1992.09.15
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
FUKUI RYOTA;TSUGUEDA TAKAYUKI
分类号
H01J27/14;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08
主分类号
H01J27/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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