| 发明名称 |
REACTION CHAMBER FOR CHEMICAL, VAPOR GROWTH APPARATUS AND CHEMICAL VAPOR GROWTH APPARATUS USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0697080(A) |
申请公布日期 |
1994.04.08 |
| 申请号 |
JP19920241938 |
申请日期 |
1992.09.10 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TSUTAHARA KOUICHIROU;YAMAGUCHI TORU;EJIMA TAIZO;MINAMI TOSHIHIKO;KAWADA YOSHINOBU |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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