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发明名称 SINGLE CRYSTAL PULLING UP DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0692778(A) 申请公布日期 1994.04.05
申请号 JP19920243714 申请日期 1992.09.11
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TSUNODA MASAO;USHIZAWA JISABURO
分类号 C30B15/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
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