发明名称 DEVICE TO MEASURE SPECIFIC RESISTANCE OF SEMICONDUCTOR MATERIALS
摘要
申请公布号 RU2010256(C1) 申请公布日期 1994.03.30
申请号 SU19915019848 申请日期 1991.11.18
申请人 FILIAL INSTITUTA KRISTALLOGRAFII RAN 发明人 VLASOV VIKTOR N;KRUPNYJ ANATOLIJ I
分类号 G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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