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发明名称 Method and apparatus for etching
摘要
申请公布号 US3224914(A) 申请公布日期 1965.12.21
申请号 US19640346011 申请日期 1964.02.19
申请人 CHEMCUT CORPORATION 发明人 BENTON ROBERT C.;DECKER GUNTER
分类号 C23F1/08 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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