| 发明名称 |
TEST DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0666890(A) |
申请公布日期 |
1994.03.11 |
| 申请号 |
JP19920238863 |
申请日期 |
1992.08.17 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MITA RIKITAROU;OKAMURA NOBUHIKO;ARAKI SATOSHI;MATSUNO YASUSHI |
| 分类号 |
G01R31/319;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/319 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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