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发明名称 MICROWAVE DISCHARGE REACTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0657457(A) 申请公布日期 1994.03.01
申请号 JP19920238968 申请日期 1992.08.14
申请人 ANELVA CORP 发明人 NAKAGAWA KOJIN
分类号 C23C14/35;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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