发明名称 FORMATION OF TRIANGLE GRID
摘要
申请公布号 JPH0652270(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19930121656 申请日期 1993.05.24
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>;INTEL CORP 发明人 TAZAWA SATOSHI;SAITO KAZUYUKI;FURANSHISUKO EI REON
分类号 H01L21/302;G06F17/50;G06T17/20;H01L21/3065;(IPC1-7):G06F15/60 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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