发明名称 |
GAAS WAFER AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0645318(A) |
申请公布日期 |
1994.02.18 |
申请号 |
JP19920196832 |
申请日期 |
1992.07.23 |
申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
SAKAGUCHI HARUNORI;TANI TAKEHIKO;KUMA SHOJI |
分类号 |
H01L21/02;H01L21/203;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|